定制皮秒/飛秒激光器，出光穩(wěn)定
激光飛行脈沖打點，同時兼容單點/旋切鉆孔工藝，效率高
集成優(yōu)異的軟件算法，自動優(yōu)化激光打點及切割的路徑及方向
可兼容產(chǎn)品漏點視覺檢測功能，提供產(chǎn)品漏點數(shù)據(jù)對接接口及預(yù)留檢測工位，實行補點功能無縫對接
| 技術(shù)指標 | |
| 激光器 | 超快皮秒/飛秒激光 |
| 加工產(chǎn)品尺寸 | X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圓 |
| 加工玻璃厚度 | 100-1500μm |
| 聚焦光斑直徑 | <3μm |
| UPH | ≥5000孔/秒 |
| 平臺定位精度 | ≤±2μm |
| 重復(fù)定位精度 | ≤±1μm |
| 視覺配置 | 1000萬像素 |
