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產(chǎn)品及應(yīng)用
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激光誘導(dǎo)結(jié)晶
設(shè)備 | LIC
激光誘導(dǎo)結(jié)晶設(shè)備 | LIC
應(yīng)用領(lǐng)域
非晶材料的激光結(jié)晶及原位雜質(zhì)激活
產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 全球首創(chuàng)，12寸量產(chǎn)設(shè)備

  • 高均勻性的全自主LIET光學(xué)系統(tǒng)

  • 低至5mJ/cm2的能量密度調(diào)控精度

  • nS級(jí)精確脈寬控制

型號(hào)LA2540G
激光波長(zhǎng)527nm
晶圓尺寸12寸
能量密度調(diào)控精度5mJ/cm2
光斑頂部不均勻性率≤1%
焦深范圍5mm
工藝效果一次掃描完成結(jié)晶和激活工藝