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產(chǎn)品及應(yīng)用
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SiC晶圓
激光退火 | LA
SiC晶圓激光退火 | LA
應(yīng)用領(lǐng)域
SiC晶圓歐姆接觸制備
產(chǎn)品特點

  • 國內(nèi)首家通過量產(chǎn)驗證

  • 成熟穩(wěn)定、可靠性好

  • 全自主光學(xué)系統(tǒng)，LIET專利光學(xué)整形技術(shù)

  • 綠光、紫外兩種波長可選

型號LA2515UVLA2540/2550S
晶圓尺寸6寸、8寸
光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
氧含量控制≤10ppm