高可靠性、成熟穩(wěn)定
全自主光學系統
優(yōu)良的熱預算控制,有效降低碎片風險
低至50μm超薄TaiKo晶圓處理能力
| 型號 | LA2540S | LA2550S | LA2540D | LA2550D |
| 晶圓尺寸 | 6寸、8寸、12寸 | |||
| 激光功率 | 60W*2 | 90W*2 | 60W*2+300W | 90W*2+300W |
| 激光能量密度 | ≥5J/cm2×2 | |||
| 激活率 | ≥95%@B+ | ≥90%@P+ | ||
| RS不均勻性 | 片內：≤1%@3sigma | 片間：≤1%@3sigma | ||
| 工藝效果 | 無碎片、無裂紋、鍵合片退火后邊緣無翹曲 | |||
